超聲波掃描顯微鏡是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開(kāi)發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。 超聲波掃描顯微鏡主要由光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)、附件裝置(包括攝影或其它如顯微硬度等裝置)組成。根據(jù)金屬樣品表面上不同組織組成物的光反射特征,用顯微鏡在可見(jiàn)光范圍內(nèi)對(duì)這些組織組成物進(jìn)行光學(xué)研究并定性和定量描述。
超聲波掃描顯微鏡是專(zhuān)門(mén)用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無(wú)法在普通的透射光顯微鏡中觀察,因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀察物體表面,被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測(cè)工作。
超聲波掃描顯微鏡是用可見(jiàn)光作為照明源的一種顯微鏡可分為正立式和倒置式兩種。兩者的區(qū)別為:
正立式顯微鏡:光路短,光路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,光損少,制樣要求高,樣品高度有要求,方便多視場(chǎng)連續(xù)觀察,鏡頭不易落灰易維護(hù)。
倒置式顯微鏡:光路長(zhǎng),光損較大,光路設(shè)計(jì)較復(fù)雜,制樣要求較低,對(duì)樣品高低無(wú)要求,檢測(cè)方便快速,不適合多視場(chǎng)分析,同等配置下倒置顯微鏡的價(jià)格要高于正立式顯微鏡。